Può essere utilizzato per riscaldare e vaporizzare gli alogenuri metallici, i composti organici metallici,idrocarburi e altre fonti di reazione sotto pressione specifica per generare sedimenti solidi sulla superficie del materiale bersaglioÈ utilizzato anche per la deposizione chimica a vapore di materiali compositi con gas idrocarburico (come C3H8, ecc.) come fonte di carbonio, come materiali compositi C/C, composti SiC
materiali, CVD, lavorazione CVI.