Forno di deposizione chimica a vapore per composti organici metallici

Il forno di deposizione a vapore può essere utilizzato per riscaldare e vaporizzare gli alogenuri metallici, i composti organici metallici,idrocarburi e altre fonti di reazione sotto pressione specifica per generare sedimenti solidi sulla superficie del materiale bersaglioÈ utilizzato anche per la deposizione chimica a vapore di materiali compositi con gas idrocarburico (come C3H8, ecc.) come fonte di carbonio, come materiali compositi C/C, materiali compositi SiC, CVD,Trattamento del CVI.

Caratteristiche:

1) A temperatura media o alta, la materia solida si forma e si deposita sulla matrice attraverso la reazione chimica in fase gassosa tra i composti iniziali in fase gassosa.

2) Può essere depositato a pressione atmosferica o in vuoto (deposizione a pressione negativa, di solito la qualità del film di deposizione a vuoto è migliore).

3) L'impiego di plasma e tecnologia assistita dal laser può favorire in modo significativo la reazione chimica, in modo che la deposizione possa essere effettuata a una temperatura inferiore.

4) La composizione chimica del rivestimento può variare con il cambiamento della composizione della fase gassosa, in modo da ottenere sedimenti gradienti o rivestimento misto.

5) Può controllare la densità e la purezza del rivestimento.

6) intorno alle parti placcate. Può essere rivestito su matrice di forma complessa e materiale granulare. Adatto per rivestire tutti i tipi di forme complesse del pezzo da lavorare.può essere rivestito con scanalature, scanalature, fori e persino buchi ciechi del pezzo da lavorare.

7) Lo strato depositato ha di solito una struttura cristallina a colonna e non è resistente alla piegatura.ma la sua struttura può essere migliorata dalla perturbazione della fase gassosa della reazione chimica attraverso varie tecniche.

8) può formare una varietà di rivestimenti metallici, legati, ceramici e composti attraverso varie reazioni.