Modulo di chiusura delle porte Forno di deposizione a vuoto per grafite e dispositivi semiconduttori

Il forno di deposizione a vuoto è utilizzato per la preparazione di materiali compositi carbonio-carbonio,e il forno di deposizione è utilizzato principalmente per la preparazione di un rivestimento pirolitico di carbonio sulla superficie della grafite, dispositivi semiconduttori e materiali di spazzatura resistenti al calore.

Dominio di applicazione:

Grafite, dispositivi semiconduttori, materiali di lavaggio resistenti al calore.

1Parametri di base:

1) Temperatura di progetto: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Temperatura comune: 900-1200°C

3) Grado di vuoto: < 50 Pa

4) Velocità di aumento della pressione: 6,67 pA/h (o 150 Pa/24h) allo stato freddo del forno vuoto

5) Modalità di riscaldamento: riscaldamento a resistenza al grafite o riscaldamento ad induzione, controllo della temperatura indipendente, buona uniformità della temperatura

6) Medio atmosferico: vuoto /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Modalità di controllo del gas: controllo del flussometro di massa, percorso di gas multicanale, campo di flusso uniforme, nessun angolo morto di deposizione, buon effetto di deposizione;

Sistema di trattamento dei gas di scarico multi-fase ed efficiente, rispettoso dell'ambiente, facile da pulire;

8) Tipo di forno: struttura quadrata, rotonda, verticale o orizzontale (progettazione non standard), camera di deposizione completamente chiusa, buon effetto di tenuta, forte capacità antiinquinamento;

9) Modalità di raffreddamento del forno: raffreddamento dell'acqua del guscio del forno, sistema di raffreddamento rapido a circolazione esterna può essere selezionato, breve tempo di raffreddamento, elevata efficienza di produzione;

2- struttura del forno a deposizione a vuoto:

Forma della struttura: scarico orizzontale - laterale, scarico verticale - su/giù

Modalità di chiusura della porta del forno: manuale/automatica

Materiale della carcassa del forno: acciaio inossidabile interno/tutto acciaio inossidabile

Materiale isolante: feltro di carbonio/feltro di grafite/feltro di fibra di carbonio

Materiale per il riscaldamento e la muffa: grafite/CFC

Strumento a infrarossi: colorimetrico singolo/doppia colorimetrica

Fornitore di alimentazione: KGPS/IGBT ((solo adatto per il riscaldamento a media frequenza)

Specifica del prodotto: